石墨烯转移方法研究及界面超洁净双层石墨烯制备.pdf

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标题石墨烯转移方法研究及界面超洁净双层石墨烯制备概述本文介绍了基于电化学鼓泡法和刻蚀法的石墨烯干法贴合技术,用于处理石墨烯表面污染物同时,探讨了界面水氧掺杂以及不同目标基底对石墨烯薄膜拉曼性质的影响,并提出了基于干法贴合的发展方案此外,还详细描述了大面积石墨烯逐层转移设备的设计和制造过程

摘要

摘要

石墨烯凭借其优异物理化学性质受到了广泛的关注,尤其在电子、光电子器件、

透射电镜载网等领域具有巨大潜力。随着化学气相沉积(CVD)生长技术越发成熟,

作为连通生长与应用桥梁的石墨烯转移技术亟待发展。然而在实际使用中石墨烯薄膜

还有掺杂、应力、污染、大面积转移效率低等问题尚未完美解决。对于转移构筑的双

层石墨烯来讲,界面污染物一直都是大家所困扰的问题,界面污染形成的鼓包也会大

大影响双层石墨烯的性能。因此

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