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《GBT1558-2023硅中代位碳含量的红外吸收测试方法》.pdf

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    综上所述，《GBT15582023硅中代位碳含量的红外吸收测试方法》详细介绍了使用一种新的红外吸收检测技术来测量硅中代位碳含量的方法，具有高灵敏度和高精度

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