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集成电路工艺气体环境测量系统的设计

摘要

在传统测量领域中，往往因为测试仪器的采购费用高、不易维护、技术处理不到位等问题，致使该领域内教学测量仪器等资源稀少，但是随着测控技术日新月异的发展，在测试界出现了一种全新的测试仪器，就是虚拟仪器。它对于传统仪器的缺陷基本都能避免，可以同时实现软件和硬件的功能，只要熟悉软件，就可以很方便的建立自己所需的各种系统，并且虚拟仪器可以发挥计算机强大的功能对数据进行计算和处理。

本文是利用LabVIEW搭建了一个气体环境测量系统，该系统能够实时进行真空室真空度的检测，文章先对LabVIEW进行了说明，解释了什么是VI