Pfeiffer普发高压缩比涡轮分子泵工作原理和应用.pdf

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高压缩比涡轮分子泵

工作原理和应用

普发真空历史上的一个重要里程碑是在1955年发明了涡轮分子泵。从

那时起,公司约3400名员工持续致力于改进真空技术。就在最近,激

光平衡技术的发明又成为一大革新。它提供机器更长的使用寿命,同

时能明显降低振动和噪音排放。但是,让我们从头开始。传统的涡轮

分子泵工作原理的基础是什么?以及如何为您的应用选择合适的(前

级)泵?

高压缩比涡轮分子泵-工作原理和应用

涡轮分子泵的发明

第一台涡轮分子泵是在1955年发明的。当时,WilliBecker博士在ArthurPfeiffer

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