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电子级五（二甲氨基）钽

1范围

本文件规定了半导体行业用电子级五（二甲氨基）钽的技术要求、试验方法、分析方法与结果评价、

检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求。

本文件适用于制备TaN、TaCN、TaO等钽基薄膜的电子级五（二甲氨基）钽。

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2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

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