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Pfeiffer普发HIPACE 1200 PT 0526 BZHA (1702) 涡轮分子泵操作手册.pdf

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    标题Pfeiffer普发HIPACE1200PT0526BZHA1702涡轮分子泵操作手册内容概述本操作手册详细介绍Pfeiffer普发HIPACE1200PT0526BZHA1702的详细操作步骤简述1关机与放气2维护保养3更换工作流体4停用与重新投入使用5废弃处理6故障排除7排除故障8备件管理9服务流程10附加信息

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    6.3关机和放气................................................29

    6.3.1关机.........

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