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化合物半导体的外延生长设备项目规划设计方案
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化合物半导体的外延生长设备项目规划设计方案
目录
TOC\h\z8761前言 4
18341一、事故原因分析及事故后果预测 4
28627(一)、事故案例及原因分析 4
3431(二)、事故后果预测 5
5125二、项目选址研究 6
15627(一)、项目选址原则 6
14980(二)、项目选址 8
2795(三)、建设条件分析 10
26608(四)、用地控制指标 11
11301(五)、地总体要求 12
15333(六)、节约用地措施 14
27898(七
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