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低压功率器件的现状

摘要

功率VDMOSFET(VerticalDiffuseMetalOxideSemicondutorFieldEffectTransistor)，简称VDMOS，是一种以垂直导电双扩散形式的MOS结构晶体管，他是以多子为导电载流子的电压控制开关功率器件。VDMOS具有输入阻抗高、载流子少、开关速度快、工作频率高、开关损耗低、热稳定性良好等特点。VDMOS因这些优点在功率器件领域的应用越来越重要。

本文首先分析了VDMOS的发展以及国内外发展现状，介绍VDMOS的基本理论，然后设计了基本工艺流程并介绍了单步工艺的具