薄膜干涉之等厚干涉.pptVIP

n1n2n3§17-5薄膜干涉之二—等厚干涉1.等厚干涉条纹ibaa’b’ABC当一束平行光入射到厚度不均匀的透明介质薄膜上，如图所示，两光线a和b的光程差：当i保持不变时，光程差仅与膜的厚度有关，凡厚度相同的地方光程差相同，从而对应同一条干涉条纹---等厚干涉条纹。*明、暗纹条件同前：明纹暗纹实际应用中，通常使光线 垂直入射膜面，即，光程差公式简化：：为因为半波损失而产生的附加光程差。*当薄膜上、下表面的反射光都存在或都不存在半波损失时，其光程差为:当反射光之一存在半波损失时，其光程差应加上附加光程?/2,即：*劈尖：薄膜的两个表面是平面,其间有很小夹角。2.劈尖膜两光学平板玻璃一端接触，另一端垫一薄纸或细丝*2.1劈尖干涉明暗条纹的判据

?=2ne+?/2??n·A反射光2反射光1入射光(单色平行光垂直入射)e空气介质B明纹暗纹*……2.2劈尖干涉条纹的特征（1）明、暗条纹处的膜厚：一系列明暗相间的、平行于棱边的平直条纹。*（2）相邻明纹（或暗纹）所对应的薄膜厚度之差?e=ek+1-ek=(2k+1)?/4n-(2k-1)?/4n=?/2n相邻明纹（或暗纹）所对应的薄膜厚度之差相同。ekek+1?e?明纹暗纹*（3）两相邻明纹（或暗纹）的间距结论：a.条纹等间距分布b.夹角?越小，条纹越疏；反之则密。如?过大，条纹将密集到难以分辨，就观察不到干涉条纹了。L=?e/sin?≈?e/?≈?/2n??L?e明纹暗纹L?e?*劈尖干涉条纹是一系列明暗相间的、等间距分布的、平行于棱边的平直条纹。劈尖干涉条纹*劈尖干涉的应用依据：测表面不平度测波长：已知θ、n，测L可得λ测折射率：已知θ、λ，测L可得n测细小直径、厚度、微小变化Δh待测块规λ标准块规平晶等厚条纹待测工件平晶应用：*例1在半导体元件生产中，为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度，将该膜的一端腐蚀成劈尖状，已知SiO2的折射率n=1.46，用波长?=5893埃的钠光照射后，观察到劈尖上出现9条暗纹，且第9条在劈尖斜坡上端点M处，Si的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。SiSiO2OM解：由暗纹条件e=(2k+1)?/4n?=2ne=(2k+1）?/2(k=0,1,2…)第9条暗纹对应于k=8,代入上式得=1.72(?m)所以SiO2薄膜的厚度为1.72?m。*例2为了测量金属细丝的直径，把金属丝夹在两块平玻璃之间，形成劈尖，如图所示，如用单色光垂直照射，就得到等厚干涉条纹。测出干涉条纹的间距，就可以算出金属丝的直径。某次的测量结果为：单入射光波长?=589.3nm，金属丝与劈间顶点间的距离L=28.880mm，30条明纹间的距离为4.295mm,求金属丝的直径D？LD*解相邻两条明纹间的间距其间空气层的厚度相差为?/2其中?为劈间尖的交角，因为?很小，所以代入数据得LD*条纹变密白光入射出现彩条空气劈尖充水条纹变密静态思考（1）劈尖上表面平行上移，条纹如何变化？条纹宽度不变条纹左移（向棱边方向移）条纹的变化：*(a:)因为空气膜厚度为d的位置向棱边移动，故对应的条纹将向棱边方向平移，(b:)若让劈尖夹角逐渐增大，则条纹间距L逐渐减小，条纹向棱边处密集。*（2）轻压劈尖上表面，条纹如何变化？(3)劈尖底面有一凹槽，条纹形状如何？条纹变宽条纹右移（远离棱边方向移）*例3利用空气劈尖的等厚干涉条纹可以检测工件表面存在的极小的加工纹路，在经过精密加工的工件表面上放一光学平面玻璃，使其间形成空气劈形膜，用单色光照射玻璃表面，并在显微镜下观察到干涉条纹，ab?hba?hek-1ek如图所示，试根据干涉条纹的弯曲方向，判断工件表面是凹的还是凸的；并证明凹凸深度可用下式求得：*解:如果工件表面是精确的平面,等厚干涉条纹应该是等距离的平行直条纹，现在观察到的干涉条纹弯向空气膜的左端。因此，可判断工件表面是下凹的，如图所示。由图中相似直