微电子专用设备之一-无掩膜光刻技术.docVIP

微电子专用设备之一-无掩膜光刻技术.doc

  1. 1、本文档共2页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  5. 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  6. 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  7. 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  8. 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多

PAGE/NUMPAGES

无掩膜光刻技术

激光无掩膜光刻技术,又称激光直接成像技术(LDI,LaserDirectImaging),是直接利用图形工作站输出的数据,驱动激光成像装置,在涂覆有光致抗蚀剂的基材上进行图形成像的技术。

LDI可以实现不使用掩膜板,因此不仅可以降低成本,同时可以减少流程,节约制程时间。在传统印制电路板(PCB)生产中大约需要250分钟-300分钟,9个工序的制程,使用LDI支撑可以节约到5分钟,3个工序。但是由于存在生产效率,激光束准确度,准确度验证和检查,与现有成熟工艺兼容,重合误差等问题,在使用范围上仍受到一定限制,目前主要应用在PCB领域,在平板显示,半导体制程中,仍然难以进入量产阶段。

不同的LDI设备差别较大,主要看最小线宽和最大基材面积这两个指标。在图形质量方面,LDI受到激光能量和光线照射角度的影响。在生产率方面,影响LDI速度的主要有多面镜转动速度和计算机数据处理和输出效率。

目前,LDI主要应用在电路板行业,尤其是HDI(高密度互联板)企业,主要用于小批量样品,随着高感光度干膜应用,LDI进入连线试用阶段,进而提高了效率。目前最小线宽可以做到10微米的范围。

主要设备企业有以色列的奥宝,日本的富士,德国的海德堡等,中国国内企业主要有合肥芯碁微,中山新诺和大族激光等。根据大族激光2015年年报披露,2015年大族激光LDI设备营收达到2000万元。合肥芯碁微的Tripod系列可以应用于各类HDI、软板、软硬结合板等,内、外层与防焊生产曝光设备,其最小线宽/间距可达到30/30μm,工作台尺寸为610×800mm。

随着可穿戴设备、智能手机等电子产品销量不断增长,对HDI产品的需求也在不断增长,由于增长态势属于缓慢增长,因此工厂大多采用升级更新,因此影响了LDI设备的快速增长。

(范文素材和资料部分来自网络,供参考。可复制、编制,期待你的好评与关注)

文档评论(0)

可爱的家人6536 + 关注
实名认证
文档贡献者

可爱的家人

1亿VIP精品文档

相关文档