传感器技术及应用敏感结构力学特性一.pptx

传感器技术及应用

传感器技术及应用—传感器敏感结构的力学特性主讲教师：郭占社副教授北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院

思考题(第3章)第3章：传感器敏感结构的力学特性在物理量传感器中，可以利用弹性敏感元件的哪些物理特性？举例说明(2个)。说明弹性敏感元件的刚度、弹性滞后、弹性后效、蠕变的物理意义。通过实例进行说明。分析弹性敏感元件的热特性。解决方法：结构方案优化；温度补偿；理论设计、仿真补偿；围绕敏感元件电容式代替压阻式；电容激励代替热激励；双梁结构谐振筒大气参数测试系统；压阻式鬼微机械压力传感器；热—结构耦合仿真

3.1概述3.2弹性敏感元件的基本特性3.3基本弹性敏感元件的力学特性3.4弹性敏感元件的材料第3章：基本弹性敏感元件的力学特性

3.2弹性敏感元件的基本特性弹性模量（elasticmodulus)：实验表明，在正应力σ作用下，材料沿正应力作用方向发生正应变ε，而且，如果正应力不超过一定限度（弹性形变），则正应力与正应变成正比胡克定律E：弹性模量MEMS单晶硅温度晶向纳米压痕仪

温度一般很小，炼钢、打铁，微尺度，不同晶向，模量不同线性阶段；屈服阶段；硬化阶段；颈缩阶段

3.2弹性敏感元件的基本特性实验表明，在切应力τ作用下，材料发生且应变γ，而且，如果切应力不超过一定限度（弹性形变），则切应力与切应变成正比剪切胡克定律钢与合金钢弹性模量E=200~220GPa，切变模量G=75-80GPa；铝与铝合金弹性模量：70-72GPa，切变模量26-30GPa。G：切变模量（剪切模量）切变模量（剪切模量）

3.2弹性敏感元件的基本特性泊松比（μ）轴向力作用下杆件横向变形公式：轴向力作用下横向应变公式：实验表明，轴向拉伸时，杆沿轴向伸长，其横向尺寸减小，轴向压缩式，杆沿轴向缩短，其横向尺寸则增大，即横向正应变ε’恒与轴向应变ε异号．实验还表明，在比例极限内，横向正应变与轴向正应变成正比

3.2弹性敏感元件的基本特性泊松比（μ）

圆面积分、也可以按照矩形计算

沿着谁转，对谁积分推导：圆形截面惯性矩；三角形截面惯性矩

1.受压缩(拉伸)的圆柱体(1)几何描述(2)边界条件(3)受力状态(4)基本结论A3.3.1弹性柱体

1.受压缩(拉伸)的圆柱体(1)几何描述(2)边界条件(3)受力状态(4)基本结论(续)A3.3.1弹性柱体各点处位移不同，一个周期内速度不同，等效质量不同简单推导

2.受扭转的圆柱体(1)几何描述(2)边界条件(3)受力状态(4)基本结论A周边固支扭矩M3.3.1弹性柱体

假设：变形后，横截面仍保持平面，其形状、大小与横截面间的距离均不改变，而且，半径仍为直线。概言之，圆轴扭转时，各横截面如同刚性圆片，仅绕轴线做相对旋转。此假设称为圆柱扭转平面假设。

几何变化

物理方面

静力学方面代入(3.3.18)

2.受扭转的圆柱体(1)几何描述(2)边界条件(3)受力状态(4)基本结论(续)A周边固支扭矩M3.3.1弹性柱体

拉伸柱体的振动特性一端固支，一端自由扭转3.3.1弹性柱体

弹性敏感元件的边界条件固支：位移与转角为零简支：位移与转矩为零自由：转矩与剪力为零重要补充——

弹性敏感元件的边界条件固支：位移与转角为零

挠曲线近似微分方程:

带入边界条件C=0D=0

带入边界条件C=0D=0

1.等截面情况(1)几何描述(2)边界条件(3)受力状态(4)基本结论(续)3.3.3悬臂梁

2.变截面情况(等强度)(1)几何描述(2)边界条件(3)受力状态(4)基本结论3.3.3悬臂梁

一般情况下，梁内不同横截面的弯矩不同。因此，按照最大弯矩所设计的等截面两种，出最大弯矩所在截面外，其余截面的材料强度均未得到充分利用。因此，在工程实际中，常根据弯矩沿着梁轴的变化情况，将梁也设计成变截面的，横截面变化的梁，成为截面梁。设计思想：使得梁各处的弯矩等于最大应力为指导思想

(1)几何描述(2)边界条件(3)受力状态(4)基本结论3.3.4弹双端固支梁

Fl1l2

Fl1l2

(1)几何描述(2)边界条件(3)受力状态(4)基本结论3.3.2弹性弦丝的固有振动