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TFT调研报告

练紫莹

雷梦雷

张桂山

调研题目：微晶与非晶的区别?IGZO-TFT的CAAC结构到底有没有结晶?如何量测?

学号

练紫莹学号

一、微晶与非晶

要理解微晶与非晶，首先要理解晶体概念，以及晶粒概念。自然界中物质存在状态有三

种：气态、液态、固态，其中固体又可分为两种存在形式：晶体和非晶体。晶体是经过结晶

过程而形成的具有规则的几何外形的固体，晶体中原子或分子在空间按一定规律周期性重复

的排列。

晶体有以下共同特点：

（1）均匀性：晶体各个部分的宏观性质是相同的。

（2）各向异性：沿晶格的不同方向，原子排列的周期性和疏密程度不尽相同，由此导致晶

体在不同方向的化学特性也不同。

（3）固定：晶体具有周期性结构，熔化时，各部分需要同样的温度。

（4）规则外形：理想环境中生长的晶体应为凸多边形。

（5）对称性：晶体的理想外形和晶体结构都具有特定的对称性。

与晶体相对应，原子或分子无规则排列，无周期性且无对称性的固体叫非晶，如玻璃、

非晶碳。非晶没有一定的晶格常数，能描述非晶结构特点的只有径向分布函数，这是个统计

的量。从液态到固态的转变要经历成核长大的过程，若跳过成核过程直接使其从液态变为固

态，就能得到非晶。另一方面，使其成核跳过长大过程，便能得到纳米晶。

晶粒是另外一个概念，从液态转变为固态的过程首先要成核，然后生长，这个过程叫晶

粒的成核长大。晶粒内分子、原子都是有规则地排列的，所以一个晶粒就是单晶。多个晶粒，

每个晶粒的大小和形状不同，而且取向也是凌的，没有明显的外形，也不表现各向异性，

这是多晶。

有了晶粒，那么晶粒大小（晶粒度），均匀程度，各个晶粒的取向关系都是很重要的组

织（组织简单的说就是指固体微观形貌特征）参数。对于大多数的金属材料，晶粒越细，材

料性能越好。

最初显微镜倍数还不是很高，能看到微米级的时候，微米数量级的晶粒已经是非常小的

了，而且这个时候材料的力学性能特别好，人们习惯上把这种小尺度晶粒叫微晶。

从显微学上来看单晶、多晶、微晶、非晶和纳米晶，一个晶粒就是单晶，多个晶粒就是

多晶，没有晶粒就是非晶。单晶只有一套衍射斑点，多晶取向不同会表现出几套不同的斑点。

纳米晶和微晶是从晶粒度大小角度来说的，再大一点的晶粒，叫粗晶。

1、微晶简介

（1）什么是微晶？

微晶是指每颗晶粒只由几千个或几万个晶胞并置而成的晶体，从一个晶轴的方向来说这种晶

体只重复了约几十个周期。微晶的比表面大，表面吸附性能、表面活性等相当突出。可将实

验上给出衍射峰(或粉晶衍射弧线)已有明显增宽、弥散的颗粒线度尺寸在(100～2000)×10-

10m范围的晶体称作微晶，这是由晶体向无定形体过渡的一种存在形态。如炭黑即是一种由

数以千或万计的晶胞并置而成的微晶，在摄取的炭黑粉晶衍射图中001型的002衍射峰特

别弥散，而100与110衍射则较明锐，这表明c轴方向的周期比a和b轴方向的周期重复

数要小得多，微晶是一种亚稳态，它转化为晶态时会释放出一定的晶化热。

（2）微晶材料的种类

微晶材料通常按其基质的组成，分为硅酸盐、铝硅酸盐、硼硅酸盐、硼酸盐、磷酸盐微

晶玻璃五大类。它们综合性能取决于以下几个主要因素：原始材料的成份、晶体的种类、

含量、大小、残余相的性质、结构和数量。