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《半导体远程等离子体源的解离率测试方法》

（征求意见稿）

编制说明

一、工作简况

1.任务来源

本团体标准根据《广东省真空学会广东省真空学会团体标准管理办法的通知》要求

进行制定。起草单位有季华实验室、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、江苏神州半导

体科技有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司等。《半导体远程等离子体源的解离率

测试方法》团体标准由广东省真空学会归口。

2.主要工作过程

提案、立项阶段：2024年7月，季华实验室向省真空学会提出了制定《半导体远程等

离子体源的解离率测试方法》团体标准的申请，获得了省真空学会的批准和立项。

起草（草案、论证）阶段：2024年7月～8月，季华实验室作为本标准的组织单位及主

要起草单位，为高质量完成编制起草工作，组织成立标准工作组，确定标准工作方案，负

责草案的编写和进度控制。工作组广泛调研半导体远程等离子体源等相关标准及文献，并

对业内进行调研、分析，确定了本标准的主框架、完成了标准草案撰写。随后，工作组组

织了对标准草案和编制说明的论证，对必须注意的事项作了深入讨论与研究，对标准草案

作了进一步补充完善，并形成了标准征求意见稿。

3.征求意见

2024年8月，学会向各相关单位及专家发送标准征求意见的函，将开展为期30日的广泛

意见征集工作。征集相关单位对标准范围、可操作性、语言表述等方面的意见建议。

二、标准的编制原则

本标准在起草过程中，主要遵从了以下原则：

1.遵从会员企业实际原则

遵照团体标准制定原则，积极征询各成员、各领域的意见以保证标准科学性。测试方

法的团体标准需要考虑试验方法标准是将试验方法作为标准化对象，建立测定指定特性或

指标的试验步骤和结果计算规则，以为试验活动和过程提供指导，目的是促进相互理解。

在深入调查大量行业代表性远程等离子体源研发制造企业和检测研究机构的基础上，与行

业专家进行研讨论证，广泛征求意见，保证标准的科学性、规范性、时效性，提高标准质

量。

2.鼓励技术进步和规范行业发展原则

本标准的制定符合产业发展的原则，本着先进性、科学性、合理性和可操作性的原则，

以及标准的目标性、统一性、协调性、适用性、一致性和规范性原则来进行本标准的制定

工作，且与技术创新、实验验证、产业推进、应用推广相结合，统筹推进。

三、标准主要内容

本标准规定了半导体远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与

缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定

度、试验报告。

（一）范围

本标准适用于半导体表面处理、清洗等应用场合中，通入气流量60SLM、功率

40kW以内远程等离子体源的解离率测试。

（二）术语和定义

给出了“反应气体”“载气”“等离子体”“解离率”“远程等离子体源”“四级杆质

量分析器”“点火”“质荷比”“信号强度”等术语的定义。

（三）原理

指明了解离率测试方法的基本原理、方法性质和基本步骤。

（四）符号与缩略语

给出了标准中常提及的符号与缩略语，以助于对标准的理解。

（五）测试环境条件

明确了开展测试所需的环境温度、相对湿度、水冷系统温度、测试设备周围等测试环境

条件要求。

（六）仪器设备及样品

列出了测试中所使用的“测试平台”“冷却系统”“供电系统”“远程等离子体源”

“四极杆质谱仪”等主要仪器设备及样品的名称，以及应满足的条件。

（七）操作准备

给出了“测试人员培训”和“测试注意事项”的准备内容。

（八）测试步骤

按照实施顺序，规定了“安装”“质谱仪通气扫描检查”“反应气体解离测试”“测试

信息记录”等环节的步骤内容。

（九）数据处理

给出了“单次测试参考因子”“反应气体信号相对差值”“解离率”等测试结果的表示

方法或结果计算方法。

（十）测量不确定度

解离率测量不确定度按GB/T34876规定计算，给出了测试过程中不确定度份量影响占比

较大的因素。

（十一）试验报告

通过附录给出了解离率测试的试验报告格式，利于对测试方法标准的实施。

四、采用国际