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石英玻璃光掩模基片项目风险评估报告
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石英玻璃光掩模基片项目风险评估报告
目录
TOC\o1-9前言 4
一、定性、定量安全评价 4
(一)、安全管理单元 4
(二)、厂址条件、平面布置及建、构筑物单元 6
(三)、生产单元 7
(四)、公用工程及辅助设施单元 10
二、安全评价范围、目的及依据 14
(一)、评价范围 14
(二)、评价目的 16
(三)、评价依据 17
三、安全评价程序与评价方法 18
(一)、安全评价程序 18
(二)、划分评价单元 19
(三)、确定采用的安全评价方法 21
四、评价石英玻璃光掩模基片项
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