能源学院F30透射电镜用户手册.pdfVIP

FEITecnaiG2F30

透射电子显微镜

用户手册

说明：

该手册介绍了操作F30透射电子显微镜的基本步骤，主要包括成像（形貌和

高分辨）、衍射（Diffraction）和能谱采集（EDS）。该手册可以为受过培训且具备

操作权限的用户提供一定的参考。

如果你对手册里任何一个步骤有疑问，请先暂停操作电镜，联系管理员确认

清楚后方可继续使用。

除非你受过相应的培训且具备操作权限，否则禁止私自使用电镜。权限分为

普通用户和资深用户。普通用户仅允许在正常工作时段操作设备，资深用户没有

限制。普通用户和参加培训的人员在开始和结束实验前，或者更换样品的时候必

须寻求管理员的协助。

管理员联系方式：

周哲辉工程房C102工程师

黄金池工程房C102工程师

目录

1.F30电镜简介1

2.硬件概览2

2.1投影室和双目显微镜7

2.2冷阱（ColdTrap）8

2.2.1填充液氮8

2.2.2Cryocycle10

2.3操控面板11

2.4自动光阑13

2.5高压和灯丝14

3.软件概览14

4.操作说明15

4.1进出样15

4.1.1进样前准备15

4.1.2进样17

4.1.3出样21

4.2采集照片22

4.3TEM光路合轴对中25

4.3.1CondenserAperture对中25

4.3.2聚光镜像散25

4.3.3DirectAlignments26

4.3.4物镜像散28

4.3.5像散控制（Stigmator）29

4.3.6保存合轴信息29

4.4Diffraction（衍射）30

4.5样品杆α和β倾斜角控制31

4.6改变和调整光阑32

4.7STEM模式拍照34

4.8STEM光路合轴对中37

4.9使用Oxford能谱仪（EDS）38

4.10保存和上传数据45

4.10.1保存数据45

4.10.2上传数据47

4.11结束实验50

5.设备异常处理52

5.1异常处理流程52

5.2常见问题52

5.2.1真空漏气52

5.2.2高压、灯丝问题53

1.F30电镜简介

能源学院FEITecnaiF30透射电子显微镜是一台专门定制的透射电镜，在靠

近样品区的镜筒处连接了两个离子束管道，可用来做实时原位辐照实验。不做原

位辐照时，该电镜可作为常规的场发射透射电镜，实现TEM成像、扫描透射成

像（HAADF）、衍射分析（Diffraction）以及能谱EDS分析等功能。实验对象主

要是各类材料，包括纳米材料、金属及其合金、聚合物、陶瓷、矿物等。电镜正

常的运行电压是300kV，灯丝是热场的肖特基场发射枪。物镜是FEITecnaiTWIN

极靴，可以对测角台进行大角度倾转(±70°)。球差系数是2mm，晶格分辨率可

以达到0.144nm。

五轴测角台可以控制样品在X,Y,Z三个轴上平移，在两个正交的轴上倾转角

度（A,B），同时可以对任一位置信息进行存储和调用。A的倾转范围在±70°，

但实际拍照时，当A超出±20°的范围，为防止样品杆与物镜光阑发生碰撞，设

备会自动禁止物镜光阑的插入。另外，倾转角度过大会增大电子束穿透样品的厚

度，不利于成清晰的像。所以A的使用范围一般在±20°内。该电镜配有三只双

倾杆，分别是FEI标准双倾杆、FEI低背景双倾杆和Gatan加热双倾杆，B的倾

转范围