多功能真空实验仪操作流程-修订1.docx

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多功能真空实验仪操作流程

一、放样

1、此为真空室，复合计单元显示的压强即为该腔体的压强

2、实验之前，先充气打开该腔体，将铝丝（蒸发源）放在钼舟中、并将衬底玻璃片插在上方指定位置

二、开机

直到复合计单元显示5X10

直到复合计单元显示5X10-3Pa，开蒸发电源，调节蒸发电流旋钮，进行蒸发蒸镀实验（调节蒸发电流旋钮开始到70A，慢慢钼舟发红。此时打开蒸发源挡板，调节到100A开始蒸发）

注意：蒸发速度很快

5、将工作选择旋钮旋转到扩散泵工作档，此时接通了扩散泵加热电源，扩散泵开始工作

6、等20-

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