1323S03026-集成电路工艺实习-课程教学大纲-2023版人才培养方案课程教学大纲.docxVIP

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ADDINCNKISM.UserStyle《集成电路工艺实习》课程教学大纲

（实践课程）

一、课程基本信息

课程号

1323S03026

开课单位

电子信息工程学院

课程名称

（中文）集成电路工艺实习

（英文）CourseDesignofDigitalIntegratedCircuit

课程性质

选修

考核类型

考查

课程学分

1

课程学时

1周

课程类别

专业拓展课程

适用专业（类）

电子科学与技术

二、课程描述及目标

（一）课程简介

《集成电路工艺实习》课程是工艺性，实践性的技术基础课程，电子类专业重要的实践教学环节。在《集成电路工艺基础实验》课程的基础上，通过本课程设计的学习，学生可以运用所学的工艺知识，对课程内容进行设计。掌握新型存储器的方法和流程，进一步培养学生综合运用所学知识进行实际设计的能力。本课程主要包括课堂讲授，器件制备，性能测试实习基地参观等内容。

（二）教学目标

通过该课程的学习能够加深学生对课堂所学知识的理解，培养学生的实践技能，充分调动学生的学习积极性、主动性和创造性。从而有效的加深对理论知识的理解，锻炼实际动手能力。通过理论和实践的有机结合，可有效培养学生发现问题，分析问题，解决问题的能力。促进微电子技术领域应用型人才培养质量和水平的提高。具体的课程目标如下：

课程目标1：巩固和扩大已学电子技术的基础知识；

课程目标2：获得电子产品生产工艺的基本知识和基本操作技能；

课程目标3：了解电子产品生产实际和工艺并提高工程实践能力；

课程目标4：培养动手、创新能力、严谨踏实作风。

三、课程目标对毕业要求的支撑关系

毕业要求指标点

课程目标

1-3：能够将专业知识和数学模型用于推演、分析电子科学与技术领域复杂工程问题；

课程目标1

5-1：了解微电子器件与集成电路设计、制造过程中常用的设计开发软件、制造设备与测试仪器的使用原理和方法，并理解其局限性；

5-3：能够针对微电子器件与集成电路的研发，选用合理的软、硬件工具，模拟和预测器件与电路性能，并能够分析其局限性；

课程目标2

6-2：能分析和评价微电子器件与集成电路设计和制造过程对社会、健康、安全、法律、文化的影响，以及这些制约因素对项目实施的影响，并理解应承担的责任；

课程目标3

3-2：能够针对特定应用需求，完成微电子器件与集成电路功能单元的设计；

3-3：能够进行专用微电子器件和集成电路系统设计，及其制造工艺流程设计，在设计中体现创新意识；

9-1：能与其他学科的成员有效沟通，合作共事。

课程目标4

四、教学方式与方法

本课程主要通过课堂多媒体讲授和学生动手实践相结合的方法介绍该课程的主要内容。通过本课程学习，提高学生的动手实践能力。

五、实践内容、基本要求与学时分配

序号

实践内容

基本要求

学时

方式

对应课程目标

1

课堂讲授

“中兴事件”由美国给全国人民上演了一出精彩的集成电路领域上“卡脖子”案例，通过最后屈辱的结局唤起同学们“若不报效疆场，就学微电子”的科技报国热情。熟悉实验设备。

1天

实训

课程目标1

2

器件制备

严格按照实验要求进行器件制备过程。实验完成后，督促学生及时清理操作台，使学生养成良好的学习及操作习惯，在今后的职业生涯中保持良好的职业行为能力，并引导学生将自己动手操作获得愉快情绪体验升华为一种职业荣誉感和职业幸福感。

2天

实习

课程目标2

3

性能测试

熟悉掌握性能测试手段，并理解其局限性。

3天

实习

课程目标3

4

实习基地参观

听从指导老师要求，严守纪律。

1天

参观考察

课程目标4

合计

1周

（注：实践内容应当具体可测，明确基本要求和实现方式，如实习、实训、社会调查、参观考察、下乡实践、写生等。）

六、实践成果呈现要求

内容：器件制备完成后，对器件性能进行测试。然后，要求学生撰写实习报告总结整个实验过程，其内容应包括器件的特点、结构、表征、机理等。同时，还应针对制作过程中遇到的问题以及解决方法总结经验教训。总结设计过程中的问题、难点与体会。

要求：统一封面格式，文中包括目录、摘要、关键字、内容。撰写实习报告的过程是学生理清设计思路总结提高的过程，也有利于培养学生科学严谨的工作作风。

七、学业评价和课程考核

（一）考核类型：?考试t考查

（二）考核方式：?实践报告?实践作品t项目汇报

?其它：

（三）成绩评定：

考核

依据

建议分值

（百分比）

考核/评价细则

对应课程目标

平时

考核

40%

小组讨论

10%

积极与小组讨论并取得良好效果。

课程目标1、2

表现

10%

具有很高的学习热情，上课认真听讲，积极回应老师。

课程目标2

作业

20%

认真上网查阅资料，完成老师要求的各项任务，在讨论或任务中积极表现，尽自己最大的努力