1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 高等教育
  5. 研究生课件

基于白光干涉的纳米膜层测量方法.docx

基于白光干涉的纳米膜层测量方法.docx

    1. 1、本文档共22页，其中可免费阅读7页，需付费100金币后方可阅读剩余内容。
    2. 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
    3. 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
    4. 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
    查看更多

    题目：基于白光干涉的纳米膜层测量方法

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u摘要 1

    Abstract 2

    1绪论 3

    1.1薄膜厚度对薄膜性能的影响 3

    1.2常用膜厚测量方法介绍 3

    1.3本文的主要工作内容 5

    2白光干涉测量薄膜厚度原理 6

    2.1部分相干光理论 6

    2.1.1部分相干光的复数表示与光强 6

    2.1.2互相干函数和复相干度 7

    2.1.3频谱干涉和谱相干度 7

    2.2薄膜的多光束干涉原理 8

    2.3白光反射光谱原理 9

    2.3.1极值法 9

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    ***** + 关注
    实名认证
    内容提供者

    乐于分享，有偿帮助。

    咨询Ta 进入空间
    版权声明书
    用户编号：8070007123000004

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >