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合肥京东方半导体有限公司

作业指导书

ITO拆装靶材作业指导书

文件编号：BOES3-166

版本：A0

编制审核批准

合肥京东方半导体有限公司

作业指导书文件编号：BOES3-166

版本：A0

ITO拆装靶材作业指导书

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/新文件A0

1增加“3.3清理室内水塔，4.注意事项”A1

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本工序在操作设备时具有一定的危险性，操作ITO镀膜设备之前，必须熟记本作业指

导书中规定内容并严格执行本文件。否则，会对人身和设备造成伤害或损坏！

1.安全操作说明

1.1本岗位操作中存在的重大危险因素见表1：

表1岗位重大危险因素

序号重大危险因素

1传动过程中，身体接触机架导致机械伤害。

2靶高压电极，设备运行过程中接触电极导致触电危害。

3靶有强磁，凡带有心脏起伏器的人员不能靠近以免造成其它伤害。

4靶材及屏蔽罩等搬运过程中脱落砸伤。

1.2本岗位操作中需佩戴的劳动防护用品，见表2：

表2岗位应佩戴的劳动防护用品

序号操作环节应佩戴劳动防护用品

1更换靶材，清洁靶材防静电服、防静电鞋或电工绝缘鞋、丁腈手套，防护口罩

防静电服、防静电鞋或电工绝缘鞋、丁腈手套/绝缘手套、

2设备运行中

防护耳塞

1.3安全操作注意事项：

1.3.1设备运转过程中，作业员不得打开回转区推拉门，身体任何部位不得伸入回转区内，

否则可能会与机架相撞，造成严重人身伤害和设备故障。

1.3.2设备正常工作时，任何人不得接触工艺区靶材电极，否则可能造成触电事故。

1.3.3靶阴极具有强磁，凡带有心脏起伏器的人员不得进入ITO设备间，以免造成伤害。

1.3.4设备运行时会产生噪音，长时间（半小时以上）在该设备间的作业员，必须按要求

佩戴防护耳塞，否则会使听力受损。

1.3.5拆除靶材前，要关闭镀膜设备电源，放掉冷却水管中多余循环水后方可拆靶。

1.3.6更换新靶材后，必须先要拔除DC电源线的接头，才能用兆欧表对靶材进行测量，否

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