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集成电路设计基础2010-11年第一学期试题

填空题（20分）

1、目前，国内已引进了12英寸0.09um芯片生产线，由此工艺线生产出来的集成电路特征尺寸是0.009um（大小），指的是右图中的W（字母）。

2、CMOS工艺可分为p阱、n阱、双阱三种。

在CMOS工艺中，N阱里形成的晶体管是p（PMOS，NMOS）。

3、通常情况下，在IC中各晶体管之间是由场氧来隔离的；该区域的形成用到的制造工艺是氧化工艺。

4.集成电路制造过程中，把掩膜上的图形转换成晶圆上器件结构一道工序是指光刻，包括晶圆涂光刻胶、曝光、显影、烘干四个步骤；

其中曝光方式包括①接触式、②非接触式两种。

5、阈值电压VT是指将栅极下面的si表面从P型Si变成N型Si所必要的电压，根据阈值电压的不同，常把MOS区间分成耗尽型、增强型两种。降低VT的措施包括：降低杂质浓度、增大Cox两种。

二、名词解释（每词4分，共20分）

①多项目晶圆（MPW）

②摩尔定律

③掩膜

④光刻

⑤外延

三、说明（每题5分共10分）

①说明版图与电路图的关系。

②说明设计规则与工艺制造的关系。

四、简答与分析题（10分）

1、数字集成电路设计划分为三个综合阶段，高级综合,逻辑综合,物理综合；解释这三个综合阶段的任务是什么？

2、分析MOSFET尺寸能够缩小的原因。

五、综合题（共4小题，40分）

在版图的几何设计规则中，主要包括各层的最小宽度、层与层之间的最小间距、各层之间的最小交叠。把下图中描述的与多晶硅层描述的有关规则进行分类：

（1）属于最小宽度是：

（2）属于层与层之间的最小间距的是:

（3）属于各层之间的最小交叠是：

图1

图1

2．请提取出下图所代表的电路原理图。画出用MOSFET构成的电路。

图2图3图4

3、图4是一个标准的CMOS反相器电路，VTN和VTP分别为NMOS、PMOS

晶体管的阈值电压，讨论PMOS和NMOS晶体管导通和截至的条件。

4、分析下述电路的功能，并写出真值表、函数表达式。

F

F

图5图6