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IGBT在离子注入机中的应用问题

的应用问题

蔡先武田小海中国电子科技集团公司第四十八研究所410

奉文蛄合强流艇离子注几机中电源实制,对

绝肄栅双垭晶l傩菅(18日T)的特性,短路

安全工作区,橱挺驱毒I和可靠保护舟剥进行

了论述提出了一种完善的栅枉骚动和雄护

方案

强流氧离子往九机;JGBT{s0I{scsOA

栅挺驵动:保护

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1.唁

SOl(SiliconOnInsu[ator)材掌斗

用-j:制造高速,高集成度,高温低压,

低功耗和抗辐照器件,突破了体硅及其

集成电路的限制.破称为一:十一世纪

的硅集成电路技术作为soI材料主流

制备方法,注氧隔离(SIMOx)技术

需太剂量氧离子【1.3—2.0×【Ol8ion/

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cm2)高温往人,持续十儿甚至几十个小时

的注人时间,对离注入机的可靠性提

出越来越高的要求特}川足强流离子注

人中,吸极,加速电源,输出高电压,

大电流.经常还处于负载短路,高压打

火等恶劣j二作状况,这要求电源本身必

须可靠,耐冲击强流氧离子注入机众

多电源如:吸楹,加速电源,加热电

源,微漱磁控管电源.靶室电机电源,

均采用IGBT功率器件.在开关电源,以

及要求快速.低损耗的领域.IGBT有取

代MOSFET和GTR的趋势.这样.分

析』GB下特性.设计优良的驱动和保护电

路显得尤为重要

2IGBT特r陛

IGB1的等效电路,如图I所示.

由图la可以看出[GBT是一种投机理

复合器件J(DouleMechanismDice),集

MOSFET和GTR优点干一身.既具有输

人阻抗高,速度快,热稳定性好,且驱

动电路简单,驱动电流小等特点,义具

有通态压降小.峰值电流容量可达约额

G———_J

定值l0倍等优点图b适合短路情况分析

用,

3.短路安全工作区(SCSOA)[:I

强流氧离子注人机中,开关电源均

要求所用的开关器件可经受得住系统输

出的短路而无损伤,IGBT的短路承受能

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力,考虑了如下两种情况:

1)IG