纳米材料制备方法.ppt

第7章纳米材料制备方法;纳米在自然界的尺度;;纳米材料的发展历程;纳米材料的特性;纳米材料的制备方法;;;气相法-物理法-气体冷凝法;气体冷凝法制备纳米微粒的原理图;蒸发原理

用分子涡轮抽真空至0.1Pa以上的超高真空室内，充入低压(约2KPa)的纯净惰性气体(He或Ar，纯度为~99.9996％)

欲蒸的物质置于坩埚内，通过加热蒸发，产生物质烟雾，再由惰性气体的对流，烟雾向上移动，接近充液氮(77K)的冷却棒

源物质原子与惰性气体原子碰撞，迅速损失能量而冷却，在源物质蒸气中造成很高的局域过饱和，导致均匀的成核过程

纳米颗粒形成过程

在接近冷却棒的过程中，源物质蒸气首先形成原子簇

然后形成单个纳米微粒

在接近冷却棒表面的区域内，单个纳米微粒聚合长大

最后在冷却棒表面上积累起来

用聚四氟乙烯刮刀刮下并收集起来获得纳米粉

;惰性气体压力：压力的增加，粒子变大

惰性气体的原子量：大原子质量将导致大粒子，(碰撞机会增多，冷却速度加快)

蒸发物质的分压，即蒸发温度或速率：蒸发源温度升高，引起蒸发速率的增加和源物质蒸气压力的增加，粒子变大，(源物质气体浓度增大，碰撞机会增多，粒径增大）；粒子大小正比于lnPv(Pv为金属蒸气的压力);气体冷凝法优缺点

优点：

设备相对简单，易于操作

纳米颗粒表面清洁

粒度齐整，粒度分布窄

粒度容易控制

缺点：

难以获得高熔点的纳米微粒

主要用于Ag、Al、Cu、Au等低熔点金属纳米粒子的合成;气体冷凝法合成Cu纳米粒子：

金属铜粒子呈球形，粒径20—100nm

粒子之间存在粘结。;气相法-物理法-活性氢熔融金属反应法;活性氢熔融金属反应法的优缺点：

采用氢等离子体加热蒸发法可以制备出金属、合金或金属化合物纳米粒子

优点：

等离子体温度高，几乎可以制取任何金属的微粒

金属或合金可以直接蒸发、急冷而形成原物质的纳米粒子，为物理过程

金属化合物，如氧化物、碳化物、氮化物的制备，需经过金属蒸发?化学反应?急冷，最后形成金属化合物纳米粒子

缺点：氢等离子体喷射的射流容易将金属熔融物质本身吹飞，这是工业中应解决的技术难点。;气相法-物理法-溅射法(直流，射频，磁控，离子束辅助);粒子的大小及尺寸分布主要取决于：

两电极间的电压、电流和气体压力；相似于气体冷凝法

靶材的表面积愈大，原子的蒸发速度愈高，超微粒的获得量愈多

溅射法的优点：

不需要坩锅；蒸发材料(靶)放在什么地方都可以

靶材料蒸发面积大，粒子收率高

可制备多种纳米金属，包括高熔点和低熔点金属。常规的热蒸发法只能适用于低熔点金属

能制备多组元的化合物纳米微粒，如Al52Ti48，Cu91Mn9及ZrO2

利用反应性气体的反应性溅射，还可以制备出各类复合材料和化合物的纳米粒子

。;气相法-物理法-蒸发法;衬底材料：

玻璃，微晶玻璃，细晶陶瓷，单晶硅，红宝石，蓝宝石

优点：

设备简单，易操作，纯度高，厚度可精确控制，质量好，速率快，效率高，用掩膜可得清晰图形，制备机制较单纯

缺点：

在基板上的附着力小，工艺重复性不够好，不易获得结晶态材料

;;不同电阻加热器的特点;真空规读数;DM-300热蒸发机不同部件;气相法-物理法-流动液面上真空蒸镀法;工艺过程：

高真空中，采用电子束加热蒸发

当水冷坩埚中的蒸发原料被加热时，打开快门，使蒸发物质沉积在旋转的圆盘下表面上

从圆盘中心流出的油，由于圆盘旋转时的离心力，在下表面上形成流动的油膜，使蒸发原子在油膜中形成超微粒子

含有超微粒子的油被甩进了真空室沿壁的容器中

这种超微粒含量很低的油在真空下进行蒸馏，使它成为浓缩的含有超微粒子的糊状物;优点：

粒径均匀，分布窄，均匀分布在油中

粒径的尺寸通过改变蒸发条件来控制，如蒸发速度，油的粘度，圆盘转速等

圆盘转速低，蒸发速度快，油的粘度高均使粒子的粒径增大，最大可达8nm;气相法-物理法-通电加热蒸发法;SiC合成工艺过程：

棒状碳棒与Si板接触，在蒸发室内充l~10KPa的Ar或He气

在碳棒与Si板间通交流电，Si板被加热器加热，随Si板温度上升，电阻下降，电路接通

当碳棒温度达白热程度时，Si板与碳棒相接触的部位熔化

当碳棒温度高于2473K时，在它的周围形成了SiC超微粒的“烟”，将它们收集起来

;气相法-物理法-爆炸丝法;爆炸丝法制备纳米粉体装置示意图;爆炸丝法制备易氧化金属的氧化物纳米粉体：

一，在惰性气体中充入一些氧气

二，己获得的金属纳米粉进行水热氧化

前者制备的氧化铝为球形，后者为针状粒子

这种方法适用于工业上连续生产纳米金属、合金和金属氧化物纳米粉体

;基本原理：

利用反应气体分子(或光敏剂分子)对特定波长激光束的吸收，引起反应气体分子激光光解(紫外光解或红外多光子光解)、激光热解、激光光敏化和激光诱导化学合成反应

在一定工艺