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摘要
随着科学技术的飞速发展,传感器已经渗透到了人们日常生活中的每一个角落。
压力传感器作为最常见的传感器类型之一,广泛应用于消费电子、医疗器械、航空
航天等领域,无时无刻保障着人们正常生活、工业生产安全以及支撑着科学研究。
其中压电式压力传感器因其独特的自驱动特性以及高输出和快速响应特性,受到了
研究人员的广泛关注。目前关于压电式压力传感器的研究多以柔性材料为主,但制
备的这些柔性材料通常仅在少数性能上具有良好的特性,且难以和传统的硅基传感
器之间进行集成,因此难以满足大规模集成化制备多功能传感器件
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