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浅谈半导体项目大型冷冻机房的设计

摘要：本文简单介绍了半导体相关项目的CUB大型冷水机房的相关设计思路，

结合了一些具体项目对系统的设计进行了充分说明，并对设计和实施运行工程中

出现的问题进行了简单的分析和探讨。

关键词：大型冷冻机房；中低温冷冻水；二次泵变流量系统；热回收；平衡

管；冷机；水泵；冷却塔

1.前言

近年随着国家政策精准扶植，国内半导体项目蓬勃发展，而作为FAB生产厂

房的重要能源“冷冻水”负责为整个工艺制程提供空调冷源和工艺冷却，考虑到

工艺生产的重要性，冷冻水的稳定性至关重要，一旦有生产事故，损失将是巨大

的，并且将无法挽回。目前也为响应国家节能要求，而冷水机房作为能源消耗大

户，建设一个高效绿色的机房也尤为关键，故本文将对冷冻机房的设计进行探讨。

通过深入探讨总结，希望能对今后的设计生产任务起到一定的指导作用。

2.前期规划

在项目启动时，需要考虑规划一些机房位置和跨距大小等前期土建条件（如

图1）。一般需考虑如下几点：

1）冷冻站位置尽量离屋顶冷却塔近些，目前主流项目考虑设置在CUB顶层，

屋面设置冷塔。因为考虑到一层需要设置纯水机房，变配电机房，锅炉房等（规

范要求或者是因为荷载较大）。

2）在没有具体负荷的情况下需要考虑规划机房大小和其