《GBT 35306-2023硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法》最新解读.pptx

《GB/T35306-2023硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法》最新解读;目录;目录;目录;目录;目录;目录;PART;发布背景

随着半导体产业的快速发展，对硅单晶中碳、氧等杂质元素的准确测量需求日益迫切。为提升检测精度和效率，满足更高纯度的硅单晶材料要求，国家市场监督管理总局发布了《GB/T35306-2023硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法》。

标准修订

该标准是对原GB/T35306-2017标准的全面修订，主要技术变化包括适用范围的调整、方法原理的更新、干扰因素的重新评估、仪器波数范围的优化、样品及参比样品要求的明确、样品厚度要求的细化、数据处理方法的改进以及精密度的提升等。;;PART;低温傅立叶变换红外光谱法详解;低温傅立叶变换红外光谱法详解;PART;适用范围扩展

新标准GB/T35306-2023显著扩展了碳、氧含量测定的适用范围，从原先的低电阻率硅单晶扩展到室温电阻率大于1Ω·cm的n型硅单晶和大于3Ω·cm的p型硅单晶。这一变化使得标准更加贴近实际应用需求，提高了测量的准确性和可靠性。

测定灵敏度的提升

低温傅立叶变换红外光谱法相比室温方法具有更高的灵敏度，能够更准确地测定低含量样品的碳、氧杂质。新标准明确了测定范围，从2.5×10^14cm^-3到1.5×10^17cm^-3，确保了测量结果在有效浓度范围内的高精度。;碳、氧含量测定的新突破;PART;;;;PART;;PART;新方法与旧标准的差异;数据处理与精密度的改进;PART;;PART;样品及参比样品要求解读;温度控制

测试样品和参比样品在测试过程中应尽可能地保持相同的温度，以避免与温度有关的晶格吸收对测试结果的影响。这要求测试设备具备精确的温度控制功能，确保测试环境的稳定性。;PART;确保测量准确性;PART;;PART;积分范围及校准因子的应用;积分范围与校准因子的协同作用

积分范围与校准因子在测定过程中相互协同，共同确保测定结果的准确性。合理的积分范围有助于准确捕捉特征吸收峰，而精确的校准因子则能将光谱信号转换为准确的碳、氧含量值。两者的有效结合，是实现低温傅立叶变换红外光谱法高精度测定的关键。

实际应用中的注意事项

在实际应用中，积分范围与校准因子的设定需根据具体样品及测试条件进行调整。同时，应定期对校准因子进行验证和更新，以确保其准确性和可靠性。此外，对于不同型号或不同厂家的仪器，其积分范围与校准因子的设定也可能存在差异，因此在使用过程中需特别注意。;PART;;PART;精密度的提升与意义;增强实验控制

严格控制实验条件，如样品制备、温度控制、光谱采集等各个环节，确保实验过程的可重复性和稳定性。;精密度的提升与意义;精密度的提升与意义;;PART;主要起草单位

青海芯测科技有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、洛阳中硅高科技有限公司、布鲁克(北京)科技有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、弘元新材料(包头)有限公司、高景太阳能股份有限公司。这些单位在半导体材料、检测技术、新能源等领域具备深厚的专业背景和丰富的实践经验，共同为标准的制定提供了坚实的技术支撑。;标准起草单位与贡献;行业影响

该标准的制定和实施，将对我国半导体材料产业的发展产生深远影响。通过规范硅单晶中碳、氧含量的测定方法，可以确保硅单晶材料的质量和性能达到国际先进水平，提高我国半导体材料在国际市场上的竞争力。同时，该标准的制定也将促进相关检测技术和仪器设备的研发和应用，推动我国半导体材料检测技术的不断进步和发展。;PART;薛心禄;PART;;硅单晶材料的重要性;PART;成分分析：;;;;PART;;;充分混合

如样品由多个部分组成，需充分混合以确保样品的均匀性和代表性。;;;如何准备符合新标准的样品;如何准备符合新标准的样品;PART;干扰因素识别与排除;;PART;;作用

在进行样品测量前，需先采集背景光谱，以便在后续样品测量中扣除背景，确保测量结果的准确性。;;;背景光谱与参比光谱的理解;01;PART;新标准对科研工作的指导;指导实验室建设与设备升级;PART;选择合适的实验方法;提升实验准确性的关键技巧;LIMS实验室管理系统可以提高实验室的效率，减少人为错误，确保实验结果的准确性和可靠性。通过LIMS系统，可以实现实验数据的自动记录、分析和存储，降低人为干预和误差。;PART;新标准下的数据处理挑战;;PART;如何解读红外光谱图;;;;;;;PART;;PART;升级检测设备;加强质量控制;PART;新标准下的质量控制;;