外延工艺简介.pptxVIP

外延工艺简介;Slide2;什么叫外延？;硅外延的基本原理:;Slide5;外延生长掺杂原理;Slide7;Slide8;Slide9;外延设备及所用的气体：;Slide11;Slide12;Slide13;Slide14;各种硅外延炉比较;在外延中应注意的问题：;Slide17;Slide18;外延生长中的自掺杂;Slide20;Slide21;Slide22;Slide23;Slide24;图形漂移、畸变;Slide26;Slide27;外延层中的晶体缺陷：;Slide29;Slide30;Slide31;Slide32;Slide33;Slide34;Slide35;Slide36;Slide37;Slide38;Slide39;Slide40;Slide41;Slide42;Slide43;Slide44;外延的质量表征因子：;外延层测试设备：;Slide47