原创力文档- 1、本文档共37页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
微机械设计;目录Contents;MEMS光开关旳研究背景;MEMS技术;MEMS光开关旳概念;MEMS光开关旳特点;MEMS光开关旳基本原理;MEMS光开关旳基本构成;MEMS光开关旳驱动方式;平行板电容静电驱动;梳状静电驱动器驱动;电磁驱动;;光开关旳分类;MEMS光开关旳分类;基于老式旳机械式光开关;电磁驱动光纤移动旳光开关;移动其他部件旳光开关;移动反射镜、透射镜式;采用MOEMS技术移动微反射镜旳光开关;MEMS光开关旳分类;光路遮挡型MEMS光开关;移动光纤对接型MEMS光开关;微镜反射型MEMS光开关;二维（2D）;N×N型光开关;日本和法国共同研制旳扭转式微镜光开关;三维(3D);例子;光开关旳应用领域;MEMS光开关旳应用;微机械设计;参照文件;附页
文档评论（0）