薄膜的形成过程及生长方式课件.pptVIP

薄膜的形成过程及生长方式;目录;5.1、薄膜生长过程概述;薄膜通常通过材料的气态原子凝聚而形成。在薄膜形成的最早阶段，原子凝聚是以三维方式开始的，然后通过扩散过程核长大形成连续膜。

薄膜新奇的结构特点和性质大部分归因于生长过程，所以薄膜生长是最为基本的。

;5.12薄膜的生长模式;6;1.岛状模式;2.层状模式;5.2形核阶段;温度越高，则需要形成的临界核心的尺寸越大，形核的临界自由能势垒也越高，这与高温时沉积的薄膜首先形成粗大的岛状组织相吻合。

低温时，临界形核自由能下降，形成的核心的数目增加，将有利于形成晶粒细小而连续的薄膜组织。;5.3、薄膜生长过程与薄膜结构;5.3.2低温抑制型薄膜生长;13;纤维状组织的一个特点是：纤维的生长方向与粒子的入射方向近似地满足正切夹角关系。

tanα＝2tanβ

α，β分别为粒子入射方向和纤维生长方向与衬底法向间的夹角。

实验证明，纤维状生长与薄膜沉积时原子入射的方向性有关。;由图中可以看出，随着温度的提高，薄膜密度上升。;低温抑制型薄膜沉积过程的特点：;5.3.3高温热激活型薄膜生长;由图可以看出，随着衬底温度的上升，薄膜中的孔洞迅速减少。;图5.18显示了衬底温度对薄膜表面形貌的影响;可以看出，薄膜的表面形貌从低温的拱形表面形貌变化为由晶体学平面构成的多晶形貌。

当温度更高时，薄膜内部发生再结晶，晶粒尺寸增加到与薄膜厚度相仿，薄膜的组织变为形态3型的等轴晶组织。;?复习题?;感谢亲观看此幻灯片，此课件部分内容来源于网络，

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