镨掺杂氧化铪基铁电薄膜的化学溶液法制备.docx

题目：镨掺杂氧化铪基铁电薄膜的化学溶液法制备

摘要：在科学界铁电薄膜材料一直被学者们所持续关注，所运用的铁电薄膜材料品质决定了大多数新型铁电材料和器件能否满足标准。已有研究表明氧化铪基铁电薄膜具有铁电性，且通过掺杂La系元素和加入氧化物缓冲层皆可改善薄膜铁电性能。本论文采用ZrO2作为缓冲层、Pr作为掺杂元素且掺杂比例为5mol%，通过使用简单易行的化学溶液法制备出不同甩膜层数（膜厚不同）的氧化铪基铁电薄膜材料。通过测试样品薄膜的电滞回线来探究膜厚对氧化铪基薄膜铁电性能的影响。通过观察电滞回线可观察到：在其他条件相同时，在合适的膜厚厚度区间内，较薄的Pr：HfO2铁电薄膜即甩上三层Pr：Hf