原创力文档题目：镍薄膜制备工艺设计及制作
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摘要
镍是一种过渡金属，质量较硬，其耐热性、耐腐蚀性、可塑性和磁性等性能十分优秀。被广泛用于电子通信、精密仪器制造、电镀等行业。在当前社会下，关于镍的制备及研究越来越受到人们的关注。
此次毕业设计采用QH-250真空教学实验镀膜机在硅基片上以电子束蒸发和磁控溅射的两种方法制备镍膜。分析了真空度、电子束流和蒸发时间对镍膜性能的影响并设计了电子束制备镍膜工艺方案；分析了真空度、氩气气压和溅射时间对镍膜性能的影响并设计了磁控溅射制备镍膜工艺方案。通过对文献实验数据的分析论证了实验方案
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