Rb气体盒气密性封装研究的开题报告.pdfVIP

MEMS原子钟理论、设计及Cs/Rb气体盒气密性封

装研究的开题报告

1.研究背景与意义：

随着现代科学技术和商业应用的发展，精密时频同步和定位技术的

需求越来越迫切。MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystem）原子钟作

为一种新型的时间基准源，具有占据空间小、功耗低、波动性小等特点，

被广泛研究和应用于卫星导航、移动通信、精密测量、时间服务等领域。

Cs/Rb气体盒则是原子钟的核心部件，通过离子泵和加热器将Cs/Rb蒸

气填充至真空室中，利用激光来冷却、操控和检测原子的状态，达到高

精度的时间基准源。

本课题旨在深入探究MEMS原子钟的理论基础和设计方法，以及

Cs/Rb气体盒的气密性封装，为原子钟技术的发展和应用做出贡献。

2.研究内容和问题：

（1）MEMS原子钟的理论研究：包括原子物理学、量子力学、晶体

振荡器等理论，并将其结合MEMS技术进行物理分析、建模和仿真。

（2）MEMS原子钟的设计方法研究：根据MEMS技术的特点，对

MEMS原子钟的制造、组装和测试流程进行分析，并设计出可行的MEMS

原子钟方案，完成MEMS原子钟的实际制造。

（3）Cs/Rb气体盒的封装技术研究：包括气密性测试、陶瓷封装结

构设计与制造、焊接工艺等问题。

3.研究方法：

（1）文献调研：对MEMS原子钟的理论、设计方法、制造流程等进

行深入了解和调研，并进行资料整理和分析。

（2）理论模型和仿真：对MEMS原子钟的物理模型进行建立，利用

仿真软件进行仿真分析，对MEMS原子钟的性能进行评估和优化。

（3）实验测试：通过制造MEMS原子钟和Cs/Rb气体盒进行实验

测试，验证理论模型，优化设计方案，提高MEMS原子钟的时钟精度和

稳定性。

4.预期成果：

（1）深入了解MEMS原子钟的理论基础和设计方法，掌握MEMS

原子钟的制造、组装和测试技术，具备MEMS原子钟制造和优化的能力。

（2）掌握Cs/Rb气体盒的气密性封装技术，提高Cs/Rb气体盒的气

密性和稳定性，为MEMS原子钟的应用和推广提供技术支持。

（3）发表相关学术论文和论著，提高学术水平和知名度。

5.参考文献：

[1]J.Xu,J.Mei,Y.Nie,L.Zhang,andY.Wang,“Developmentof

MEMSatomicclocks,”inInternationalConferenceonElectronics

Packaging,2015.

[2]Y.Yi,H.Jiang,andX.Zhai,“TheDevelopmentofAtomic

FrequencyStandards,”InternationalJournalofModernPhysicsB,vol.

27,no.12,2013.

[3]A.Ganguly,P.Kumari,andB.P.Das,“Areviewonatomic

clocks:MEMSbasedapproachesandtheirapplications,”Journalof

MicromechanicsandMicroengineering,vol.25,no.12,2015.

[4]P.Wang,X.Sun,S.Yu,andJ.Xu,“Researchprogressin

MEMSatomicclock,”JournalofNanjingUniversityofAeronautics

Astronautics,vol.47,no.1,pp.1-15,2015.