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行业标准

化学气相沉积炉

编制说明

（送审稿）

行业标准《化学气相沉积炉》

编制说明

1工作简况

1.1任务来源

根据《工业和信息化部办公厅关于印发2023年第一批行业标准制修订和外文版项目计划的通知》（工信厅[2023]18号）文的要求，由湖南顶立科技股份有限公司牵头负责组织修订《化学气相沉积炉》有色金属行业标准。项目计划编号为2023-0256T-YS，计划完成年限为2024年11月。

1.2方法简介

化学气相沉积法（ChemicalVaporDeposition，CVD）是指利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上发生反应生成涂层的过程。由CVD技术所形成的涂层致密且均匀，涂层与基体的结合牢固，涂层成分易控，沉积速度快，涂层质量也很稳定，某些特殊涂层还具有优异的光学、热学和电学性能，因而易于实现批量生产。但是，CVD的沉积温度通常很高，在900℃～2000℃之间，容易引起零件变形和组织上的变化，从而降低机体材料的机械性能并削弱机体材料和涂层间的结合力，使基片的选择、沉积层或所得工件的质量都受到限制。目前，CVD技术正朝着中、低温和高真空两个方向发展，并与等离子体、激光、超声波等技术相结合，形成了许多新型的CVD技术。CVD技术广泛应用与特殊材料的表面保护涂层制备、半导体材料外延生长、贵金属薄膜生产等工艺过程。

随着各个应用领域的不断发展，对化学气相沉积的要求也在不断提高。首先，化学气相沉积炉作为工件的承载场所，随着工件尺寸不断增大、单炉次装炉量不断提高，对大尺寸、多料柱的化学气相炉提出了十分急迫的需求；另外，作为CVD工艺的反应场所，为气体反应提供了所需如沉积温度、沉积压力、各气体流量等的工艺参数，满足沉积工艺需求、质量稳定的化学气相沉积炉对高性能材料的开发及技术发展具有重要意义。

图1化学气相沉积炉实物图

本标准在2015年首次发布为行业标准，至今暂未修订过。随着国家科学技术的发展，国内化学气相沉积炉行业得到了快速发展，该标准无论从内容还是形式、规范上都不再适应现代化生产的要求，不能起到有效区分产品质量、规范市场、指导企业生产的作用。因此，为了更好地指导该类设备的设计与生产、保证产品质量，计划对该标准进行修订，以更好的满足行业的需求。

1.3起草单位情况

湖南顶立科技股份有限公司是一家专业从事新材料、新能源高端热工装备研究开发、生产制造的“国家级火炬计划高新技术企业”，是“湖南省新型热工装备工程技术研究中心”的依托单位，被评为“湖南省企业技术中心”。公司与国防科大、中南大学、湖南大学、南昌大学及国内相关院所等院校和科研机构建立了密切的合作关系。公司共聘请国内知名科研院校的各类专家教授40余人为公司的顾问团队，为公司的快速发展提供了强有力的支持，特别在碳/碳化硅、铁铜基粉末冶金、硬质合金、金属复合材料以及先进真空热处理等领域的快速发展发挥了重要作用。申请和授权中国专利300余项，产品获国防科技奖励2项，中国有色金属工业科技进步奖6项，湖南省科技进步奖5项，长沙市科技进步奖3项，全国工商联科技进步优秀奖1项，并且一批成果已经实现产业化。

安徽弘昌新材料有限公司位于安徽省淮北市濉溪县经济开发区，是一家集碳纤维材料及制品研究开发、生产制造、销售与服务的高新技术企业，拥有国内最先进的标准化生产车间及研发测试中心4万余平方米，产品涉及PAN基、沥青基、黏胶基、预氧丝纤维等系列，并拥有预氧化、碳化、石墨化到制品的完整生产能力，产品应用涉及太阳能光伏、真空烧结、热处理、半导体、航天航空等领域。公司拥有副高以上职称人员2人，中级工程师3人，并聘请国内知名碳材料教授为高级顾问，秉承以优质且稳定的产品、高效的服务、领先的技术为客户提供最具性价比的热场保温产品和整套解决方案。

1.4参编单位及主要起草人工作情况

整个标准起草过程中各参编单位给予了大力的支持帮助，参编单位提供了技术支持、实验数据的验证等工作。

标准主要起草人以及分工见下表1。

表1标准主要起草人及分工

姓名

单位

分工

湖南顶立科技股份有限公司

负责调研、验证、标准起草全过程

湖南顶立科技股份有限公司

负责调研、验证、标准起草

湖南顶立科技股份有限公司

负责全过程的标准编制、审核、协调工作

湖南顶立科技股份有限公司

参与标准起草，资料收集、审核、协调工作

安徽弘昌新材料有限公司

参与标准起草，提供相关验证

安徽弘昌新材料有限公司

参与标准起草，提供相关验证

安徽弘昌新材料有限公司

参与标准起草，提供相关验证

安徽弘昌新材料有限公司

参与标准起草，提供相关验证

1.5主要工作过程

计划下达后，全国有色金属标准化技术委员会组织各起草单位成立了修订工作组，由湖南顶立科技股份有限公司为组长单位，负责主要修订工作。修订工作组制定