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《微机电系统半导体气体传感器性能检测方法》编制说明
一、目的意义
随着人们对安全防控、环境监测、健康管理越来越重视，气体传感器已成为生产和生活不可或缺的一部分。半导体式气体传感器是研究最早、应用最广的一种气体传感器。基于微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem）工艺的半导体气体传感器技术是目前半导体气体传感器发展的趋势，它不仅继承了传统半导体气体传感器高灵敏度、低成本、敏感材料多样性的优势，还通过MEMS工艺技术大大减小了传感器的体积、功耗，可以更好地适用于小型化和微型化器件的大规模生产，能够有效提升传感器的实用性。而且，借助于MEMS技术可以集成多个不同的传感器组成传感器阵列，结合算法进行拟合分析，可以改善器件整体的选择性，克服了单个半导体传感器选择性差，不能用于混合气体检测的缺点。
基于其优点，MEMS半导体气体传感器的应用优势也逐渐显露。目前应用较多的为智能家电，如集成在燃气热水器、空气净化器、空调等家用电器中，用于家居环境中各种气体的监测；还有应用于“电子鼻”中，用于泄漏监测、臭味或异味监测；另外，随着健康管理的观念逐渐深入人心，通过监测人体呼出气体的特定成分来反映或预警人体的健康状态近几年深受研究学者和体外诊断医疗企业的青睐，MEMS半导体气体传感器在这方面的应用潜力巨大。
江苏省是全国MEMS智能传感器产业基地之一，聚集了大量MEMS智能传感器研究、生产、应用企业，MEMS半导体气体传感器企业也融入其中。随着产业的发展以及MEMS半导体气体传感器应用的增多，产品的检测需求也随之增多。然而，国内外却没有针对MEMS半导体气体传感器的检测方法，本项目在于研究制定MEMS半导体气体传感器的检测方法，形成统一的、具有普遍适用性的检测标准，促进提升MEMS半导体气体传感器的产品质量，突出产品优势，提高产品市场认可度，促进行业健康快速发展。
二、任务来源
2022年江苏省市场监管局地方标准制定项目，序号240《微机电系统半导体气体传感器性能检测方法》，推荐单位为江苏省纳米技术标准化技术委员会，承担单位为苏州市计量测试院，参与单位为苏州慧闻纳米科技有限公司。
三、编制过程
1．成立起草小组（2022年7月）
根据“关于2022年度江苏省地方标准立项的公示”，在江苏省市场监督管理局领导下，江苏省纳米技术标准化技术委员会组织协调下，成立了由苏州市计量测试院为牵头单位，苏州慧闻纳米科技有限公司等相关单位为协作单位的标准工作组，负责标准的调研、起草、编制和修改。
2．组织调查研究（2022年8月-2022年10月）
为了更好的做好地方标准编制工作，让标准能够适合全省范围内使用，标准工作组工作人员对多家传感器企业进行了走访调研，并参考类似和相关的国家标准针对气体传感器的主要技术要求，深入研究、综合分析、试验验证。
3．编制标准草案（2022年11月-2023年3月）
依据相关法律、法规、政策，收集、整理全省的相关标准、文件和资料，依托江苏省纳米技术标准化技术委员会的技术支撑，由标准工作组工作人员根据前期调研、分析结果，进行标准初期编制，完成相关标准验证实验，编写出“微机电系统半导体气体传感器性能检测方法”地方标准草案。
4．标准征求意见（2023年4月-2023年5月）
标准草案稿编制完成后，标准工作组在苏州召开了标准稿件的征求意见研讨，会议上收集整理各相关单位提出的意见建议，进行整理和修改了标准草案，此后，发布标准正式征求意见稿，在全省范围内征求各有关方的意见。征求意见函共发送的单位数35个，回函并有建议或意见的单位数17个，回函无建议单位数14个。
5．征求意见处理，召开预评审会完成送审稿（2023年5月-2023年6月）
标准起草小组汇总征求意见，整理“标准征求意见表”，并召开研讨会讨论征求意见回复及完成草案修改。组织标准预评审会对修改后的草案进行进一步格式检测及内容确认，形成标准送审稿。
6．标准审查（2024年8月）
2024年8月16日，江苏省市场监督管理局在南京组织召开了《微机电系统半导体气体传感器性能检测方法》地方标准审查会。共有来自中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、江苏省计量科学研究院、江苏省质量和标准化研究院、东南大学、苏州大学、霍尼韦尔传感控制（中国）有限公司、翼捷安全设备（昆山）有限公司等7位专家参加了审查，专家听取了标准编制单位汇报，经质询与讨论，达成了一致意见。审查专家组对标准整体进行了评价，认为本标准文本撰写清晰、合理，审查通过，建议按照修改意见修改后，进入下一阶段。
7.根据专家意见修改完善，完成报批稿（2024年8月）
标准起草小组根据标准审查会的专家意见修改完善形成了《微机电系统半导体气体传感器性能检测方法》报批稿。
四、主要内容
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