《等离子刻蚀气体 八氟环丁烷》.docxVIP

Q/LB.□XXXXX-XXXX

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ICS

FORMTEXT71.080.20

CCS

FORMTEXTCPCIF

FORMTEXTG17

FORMTEXT中国石油和化学工业联合会团体标准

T/FORMTEXTCPCIFFORMTEXTXXXX—FORMTEXTXXXX

FORMTEXT

FORMTEXT等离子刻蚀气体八氟环丁烷

FORMTEXTPlasmaetchinggas—Octafluorocyclobutane

（征求意见稿）

FORMTEXT

FORMDROPDOWN

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX发布

FORMTEXTXXXX-FORMTEXTXX-FORMTEXTXX实施

FORMTEXT中国石油和化学工业联合会??发布

STYLEREF标准文件_文件编号T/XXXXXXX—XXXX

STYLEREF标准文件_文件编号T/CPCIFXXXX—XXXX

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前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国石油和化学