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《声子散射下纤锌矿AlGaN多层异质结构中电子的迁移率》篇一
一、引言
随着半导体技术的飞速发展,纤锌矿AlGaN多层异质结构因其独特的物理和化学性质,在光电子器件、微电子器件等领域得到了广泛的应用。电子的迁移率作为衡量材料导电性能的重要参数,其研究对于优化器件性能具有重要意义。本文将重点研究声子散射下纤锌矿AlGaN多层异质结构中电子的迁移率,以期为相关领域的研究和应用提供理论支持。
二、纤锌矿AlGaN多层异质结构概述
纤锌矿AlGaN是一种重要的III族氮化物半导体材料,具有较高的电子迁移率和击穿电压,良好的热稳定性和化学稳定性。其多层异质结构是由AlGaN层与其它层交替构成,具有独特的
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