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《等离子刻蚀气体 八氟环丁烷》.pdfVIP

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  • 2024-10-11 发布于河南
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《等离子刻蚀气体 八氟环丁烷》.pdf

    ICS71.080.20

    CCSG17

    CPCIF

    中国石油和化学工业联合会团体标准

    T/CPCIFXXXX—XXXX

    等离子刻蚀气体八氟环丁烷

    Plasmaetchinggas—Octafluorocyclobutane

    （征求意见稿）

    在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

    XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

    中国石油和化学工业联合会  发布

    T/CPCIFXXXX—XXXX

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