《电子工业超纯水紫外线降解总有机碳系统应用技术规程》.pdfVIP

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  • 2024-10-14 发布于浙江
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《电子工业超纯水紫外线降解总有机碳系统应用技术规程》.pdf

T/CECSXXX-202X

中国工程建设标准化协会标准

电子工业超纯水紫外线降解总有机

碳系统应用技术规程

Technicalspecificationforapplicationofultravioletdegradationsystem

oftotalorganiccarboninultrapurewaterforelectronicsindustry

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目次

1总则1

2术语3

3基本规定6

4设计7

4.1系统设计

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