-表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准.pdf

ICS71.040.40

CCSG04

G昌

中华人民共和国国家标准

GB/T29732-2021/ISO17973:2016

代替GB/T29732-2013

表面化学分析中等分辨俄歇电子能谱仪

元素分析用能量标校准

Surfacechemicalanalysis-Mediumresolutionaugerelectronspectrometers一

Calibrationofenergyscalesforelementalanalysis

(ISO17973:2016,IDT)

2021-12-31发布2022-07-01实施

国家市场监督管理总局砸啻

国家标准化管理委员会。ιw

GB/T29732-2021/ISO17973:2016

目次

前言………ill

引言……·凹

1范围－

2规范性引用文件·

3术语和运义

4符号和缩略语……………1

5方法概述…………………2

6能量标校准步骤……3

6.1准备参考物质…………………….3

6.2安装样品……….3

6.3清洁样品……………3

6.4选择能量校准的谱仪设置……………4

6.5仪器操作……·………………….4

6.6参考峰的测量………………………5

6.7确定参考峰的实测动能………6

6.8确定仪器动能能量标的校准范围……6

6.9下一次校准………………·……8

参考文献….9

I

GB/T29732-2021/ISO17973:2016

目IJ~

本文件按照GB/T1.12020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件代替GB/T297322013《表面化学分析中等分辨率俄歇电子能谱仪元素分析用能量

标校准》，与GB/T297322013相比，除编辑性修改外，主要技术变化为：

将文件中的“分辨率”更改为“分辨”。

本文件等同采用ISOl7973:2016《表面化学分析中等分辨俄歇电子能谱仪元素分析用能量标

校准》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38）提出并归口。

本文件起草单位：清华大学、中国石油大学（北京）。

本文件主要起草人：姚文清、杨立平、徐同广、王雅君、段建霞、李展平。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：

2013年首次发布为GB/T2973