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3I/OCIRCUITDIAGRAM
INSTRUCTIONMANUAL
Controller
ConnectorpinNo.
LEDTypeWaferAlignmentSensorColorcodeColorcode
SensorheadController
Sensorhead+V(Brown)
(Brown)+V
0V(Blue)
HD-T1030HD-T1CEmitter+24VDC
Emissionpulse
t
(Orange)i(Blue)0V-±10%
u
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