20200701第二轮线上技术交流讲座(XPS第三讲).pdfVIP

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第三节:基于Avantage的数据分析及软件使用

主要内容:

一、基本谱峰结构组成

二、数据分析—分峰拟合

三、分析应用实例

一、基本谱峰结构组成

•在XPS图谱中常见的几种谱峰结构

1.基于XPS理论(BE=hn-KE)的主峰结构

2.依赖于物理和化学性质的伴峰结构

XPS主峰结构——光电子峰

•由于X射线激发源的能量较高,因此XPS过程可以同时激发出多个原子轨

道的光电,在XPS谱图上会出现(属于同一个元素的)多组峰结构。

•最强的光电子峰一般是谱图中强度最大、峰宽小、对称性最好的谱峰,

称为XPS的主峰。每一种元素都有本征的光电子峰,它是元素定性和半

定量分析的主要依据。

•光电子峰的标记:以被激发的元素及轨道来标记,如C1s,Al2p,Ag3d5/2

10000090000

C1s

O1s

金铜合金Cu2p80000二氧化硅

80000

70000

60000

s60000s

//

sO1ss50000Si2p

ttC1s

nn

uN1su40000

oo

C40000C

Au4f

30000

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