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分析测试中心技术讲座
环境模式的扫描电镜
张潇
分析测试中心
2020.06.22
目录
SEMESEMDSEM
123
SEM/ESEM/DSEM
SEM:ScanElectronMicroscopes
ESEM:EnvironmentalScanElectronMicroscope
DSEM:DesktopScanElectronMicroscope
扫描电镜—SEM
SEM与传统光学显微镜的异同:
◼用途相同
➢SEM在成像时,使用电子作为媒介,而非光子
➢SEM可超越光学显微镜,达到其无法达到的细节水平,探测更为复杂的结构:
高倍下有更好的分辨率~1nm;更大的景深,成像更有立体感
➢可同时进行显微组织形貌的观察及成分和晶体微观结构等分析。
蜜蜂的眼睛和触角:a)光学显微镜;b)扫描电子显微镜
不同扫描电镜
SEMESEMDSEM
占地面积大大小
操作便携性难难易
放大倍率大:~300,000x大:~300,000x~100,000x
元素分析能能能
低真空无有有
扫描电镜工作原理
扫描电子显微镜(SEM)使用聚焦电子束来创建样品的放大图像。
电子束在样品表面以规则的方式扫描,样品中激发出来的电子被用来产生图像。
打个比方:
扫描电子显微镜探测样品表面,可以比拟为在暗室中使用细光束手电筒扫描墙壁
上的物体。
通过系统地左右扫描手电筒,并逐渐向下移动,人们可以在记忆中建立物体的图
像。
扫描电镜用电子束代替手电筒,用电子探测器代替眼睛,用观察屏和照相机作为
记忆。
扫描动画
扫描电镜基本构造
手电筒
电子光学系统
眼睛
信号探测系统
真空系统
电子枪
常见电子枪对比
电磁透镜结构:由铁磁材料和绕制铜线构成。焦距可以通过改变流过线圈的电流来改变。
在磁场的影响下,电子呈螺旋路径,沿着柱螺旋运动。
铁磁材料
信号探测
电子束击中样品时,
它与样品中的原子相互作用:
◼一些电子,撞击原子核后,反弹回来
(背散射电子BSE-成分像)
◼一些电子撞击原子并激发样品电子
(二次电子SE-形貌相)
◼还伴随产生X射线、光、热
(表面成分分析)
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中级注册安全工程师、计算机二级持证人
本人从事安全工作多年,已持有国家注册安全工程师证书,有着丰富的化工及工贸安全管理经验,能提供指导或编制应急预案、管理制度、操作规程、安全教育培训、检维修等资料,欢迎咨询
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