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摘要
摘要
硅微谐振式压力传感器是一种利用微机电系统（MEMS）工艺制造的通过检
测谐振器频率的变化来敏感压力大小的微惯性器件，与传统的石英振梁压力传
感器相比具有体积小、功耗低、可靠性高、成本低等优点。飞行器等对于大气压
力检测要求压力传感器具有高精度和高环境适应性，谐振式压力传感器是高精
度大气压力检测的主要结构。
本文针对高精度和高环境适应性MEMS谐振式压力传感器应用，开展谐振
式传感器闭环接口电路的设
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