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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN201829449U*
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN201829449U
(45)授权公告日2011.05.11
(21)申请号201020542214.9
(22)申请日2010.09.26
(73)专利权人攀钢集团钢铁钒钛股份有限公司
地址617067四川省攀枝花市东区向阳村技
质部
专利权人攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限
公司
(72)发明人唐静谢杰
(74)专利代理机构成都虹桥专利事务所51124
代理人何强
(51)Int.Cl.
H01J37/20(2006.01)
权利要求书1页说明书2页附图1页
(54)实用新型名称
用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具
(57)摘要
本实用新型公开了一种用于镶嵌样品的扫描
电镜专用夹具,可实现冷镶嵌样品的导电性。该
用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具,包括具有容
腔的导电基座,在导电基座上设置有可伸入导电
基座容腔的导电件。通过导电基座与导电件的设
置,可使试样与导电基座通过导电件形成一个导
电体,从而实现了镶嵌样品的导电性,拓展了扫描
电镜对样品的可使用范围;夹具结构简单,制造
方便,且该夹具不受热、冷镶嵌材料的影响,无需
必须选择导电的热镶嵌材料,从而可降低成本,同
时还不受被镶嵌样品形状、大小的影响,很方便地
实现了镶嵌样品的导电性,尤其适合镶嵌样品采
用冷镶嵌材料的扫描电镜试验中推广应用。
U
9
4
4
9
2
8
1
0
2
N
C
CN201829449U权利要求书
CN201829452U1/1页
1.用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具,其特征是:包括具有容腔的导电基座(1),在导
电基座(1)上设置有可伸入导电基座(1)容腔的导电件(2)。
2.如权利要求1所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具,其特征是:导电基座(1)
的侧壁上设置有紧固装置。
3.如权利要求2所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具,其特征是:所述紧固装置
为穿透导电基座(1)侧壁的螺钉(3)。
4.如权利要求1、2或3所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具,其特征是:所述导
电件(2)为导电薄片。
5.如权利要求4所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具,其特征是:所述导电薄片
通过紧固螺钉(5)与导电基座(1)紧固连接。
6.如权利要求5所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具,其特征是:在导电薄片上
设置有U型槽口(4),紧固螺钉(5)穿过U型槽口(4)与导电基座(1)紧固连接。
7.如权利要求6所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具,其特征是:导电薄片伸入
导电基座(1)容腔的一端设置有向下的弯折触头(6)。
8.如权利要求7所述的用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具,其特征是:所述导电薄片
具有两个,对称布置在导电基座(1)上。
2
CN201829449U说明书
CN201829452U1/2页
用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种夹具,具体涉及一种用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具。
背景技术
[000
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