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IC互连碳纳米管关键技术研究——高密度催化剂及
定向碳纳米管的制备与表征的开题报告
一、研究背景
随着纳米科技的发展，纳米材料在电子、光电、生物医学等领域
用越来越广泛，而碳纳米管作为一种具有优异物理化学性质的纳米材料，
在这些领域也有着重要的应用前景。目前，碳纳米管的制备技术已经逐
步成熟，但在实际应用中，碳纳米管互连技术还存在许多挑战，如缺乏
高密度的催化剂和定向碳纳米管的制备和表征技术等。
二、研究内容
本次研究将重点研究IC互连碳纳米管关键技术，主要包括高密度催
化剂的制备、定向碳纳米管的制备以及其表征三个方面。
1.高密度催化剂的制备
本次研究将针对目前碳纳米管互连技术中存在的高密度催化剂不足
问题进行研究。通过改进催化剂配方和制备工艺，实现高密度催化剂的
制备，并对其进行表征和测试，以确定最优的催化剂类型和制备工艺。
2.定向碳纳米管的制备
本次研究将重点研究定向碳纳米管的制备技术，采用电化学方法和
化学气相沉积法等多种方法对碳纳米管进行制备和表征，以确定最优的
定向制备方法和参数。
3.定向碳纳米管的表征
本次研究将利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、原
子力显微镜(AFM)等先进的表征手段对定向碳纳米管进行表征，了解其结
构、形态和材料性质等基本特征，为后续的应用研究提供重要的基础数
据。
三、研究意义
本次研究将探索IC互连碳纳米管关键技术，并开发高密度催化剂和
定向碳纳米管制备技术，为碳纳米管和纳米电子学领域的应用提供重要
的技术支撑。此外，本次研究还将为纳米材料的制备和应用研究提供重
要的基础数据和实验方法，促进纳米科技的快速发展。
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