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摘要 ITOC\o1-2\h\u
1绪论 1
1.1铁电存储器 1
1.2铁电场效应晶体管 2
1.3铁电场效应晶体管的空间辐照效应 5
1.4电子辐照效应 9
1.5铁电存储器辐照研究现状 10
1.6本文的研究内容与结构 11
2氧化铪基铁电存储单元电子辐照效应模型的建立 12
2.1TCAD模拟软件简介 12
2.2仿真理论及模型 14
2.3氧化铪基铁电存储单元模型的建立 17
3氧化铪基铁电存储单元的电学性能模拟及数据分析 20
3.1电子辐照对氧化铪基铁电存储单元P-V特性的影
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