氧化铪基铁电存储单元的电子辐照效应模拟研究.doc

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摘要 ITOC\o1-2\h\u

1绪论 1

1.1铁电存储器 1

1.2铁电场效应晶体管 2

1.3铁电场效应晶体管的空间辐照效应 5

1.4电子辐照效应 9

1.5铁电存储器辐照研究现状 10

1.6本文的研究内容与结构 11

2氧化铪基铁电存储单元电子辐照效应模型的建立 12

2.1TCAD模拟软件简介 12

2.2仿真理论及模型 14

2.3氧化铪基铁电存储单元模型的建立 17

3氧化铪基铁电存储单元的电学性能模拟及数据分析 20

3.1电子辐照对氧化铪基铁电存储单元P-V特性的影

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