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RTS-4型四探针测试仪说明书用户手册用户手册产品说明书使用说明文档安装使用手册
深圳市君达时代仪器有限公司电话:0755
网址：邮箱:56817.cn@163.com
RTS-4型四探针测试仪
RTS-4型四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶
硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及
方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦
可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测
试
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