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摘要
摘要
压电叠堆驱动双级快刀伺服系统的研制及性能分析
随着现代光电子技术和近代光学的飞速发展，光学自由曲面以及具有复杂面
形的微结构元件在军事国防、航空航天、显示技术以及民用领域的应用愈加广阔，
光学曲面及微结构元件的制备具有广阔的发展前景和重要的研究价值。
针对复杂面型表面、各类光学自由曲面微结构以及不同尺度级别的复合表面
的加工方法中，快刀伺服技术具备独特的加工优势，能够快速高效地实现
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