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微纳机电系统
微/纳米科学与技术是当今集机械工程、仪器科学与技术、光学工程、生物
医学工程与微电子工程所产生的新兴、边缘、交叉前沿学科技术。微/纳米系统
技术是以微机电系统为研究核心，以纳米机电系统为深入发展方向，并涉及相关
微型化技术的国家战略高新技术。微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem,
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术的重要组成部分，逐渐形成一个新的技术领域
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