2023年石英玻璃光掩模基片项目可行性评估方案.docx

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石英玻璃光掩模基片项目可行性评估方案

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石英玻璃光掩模基片项目可行性评估方案

目录

TOC\h\z10370前言 3

24393一、工艺方案的选择 3

30636(一)、基本要求 3

7887(二)、典型工艺技术介绍 4

9524(三)、石英玻璃光掩模基片项目组成 6

30858(四)、工艺技术方案的选择 7

32035(五)、工艺技术方案的设计 9

7415二、石英玻璃光掩模基片项目选址 10

30804(一)、石英玻璃光掩模基片项目选址原则 10

10913(二)、原材料及主要辅助材料供应 11

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