超声振动磨削技术、 .pdfVIP

超声振动精密磨削技术的发展

1、引言

随着科学技术的进步，金属间化合物、工程陶瓷、石英、光学玻璃等硬脆材料以及

各种增韧、增强的新型复合材料因其高硬度、耐磨损、耐高温、化学稳定性好、耐腐蚀

等优点在航空航天、国防科技、生物工程、计算机工程等尖端领域中的应用日益广泛；

但由于这些材料的脆硬特性，传统加工方法已不能满足对这些材料零件的精密加工要

求，，因此有关其精密超精密磨削加工技术便成为世界各国研究的热点。超声振动精密

磨削技术便是顺应这一需要而发展起来的技术之一。

超声振动磨削技术的基本原理为：由超声波发生器产生的高频电振荡信号（一般

为16～25KHz）经超声换能器转换成超声频机械振动，超声振动振幅由变幅杆放大后驱

动工具砂轮产生相应频率的振动，使刀具与工件之间形成周期性的切削。即工具砂轮在

旋转磨削的同时做高频振动。

超声加工技术的经历了从传统超声波加工到旋转超声波加工的发展阶段，旋转式超

声加工是在传统超声加工的工具上叠加了一个旋转运动。这种加工用水带走被去除的材

料并冷却工具，不需要传统超声加工中的磨料悬浮液，因此，这种方法被广泛的运用于

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超声振动磨削加工中。

2、超声振动磨削技术发展回顾

1927年，R.